В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.

Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».

Название: Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
Авторы: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Год: 2022
Издательство: РИПО
Язык: русский
Формат: pdf
Страниц: 265
Размер: 29,43 Мб

Скачать Камлюк В.С., Камлюк Д.В. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники