В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники.
 



Автор: Ефимов И. Е., Козырь И. Я.
Язык: русский
Жанр: микроэлектроника, учебное пособие
Формат: pdf