В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.

 



Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Язык: русский
Жанр: микроэлектроника, учебное пособие
Формат: pdf