В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.

 



Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Язык: русский
Жанр: микроэлектроника, учебное пособие
Формат: pdf

В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники.
 



Автор: Ефимов И. Е., Козырь И. Я.
Язык: русский
Жанр: микроэлектроника, учебное пособие
Формат: pdf

 



Автор: Огородников И.Н.
Язык: Русский
Жанр: микроэлектроника, микропроцессоры,
Формат: pdf